在隔膜計量泵中，柱塞的往復(fù)運(yùn)動是通過柱塞與隔膜之間的液壓腔液體進(jìn)行傳遞的。為了維持隔膜的正常運(yùn)動，要求液壓腔封閉空間內(nèi)液體(一般采用液壓油)的體積要保持不變，這樣才能保證隔膜運(yùn)動所形成的容積始終等于柱塞的行程容積，從而保持泵的流量穩(wěn)定。
在泵的實(shí)際運(yùn)行過程中，由于柱塞密封處不可避免會產(chǎn)生泄漏，就可能會有氣體進(jìn)入液壓腔。此外，當(dāng)補(bǔ)油過多或排出管路壓力意外升高，均可能改變液壓腔內(nèi)液體的容積，從而影響流量的穩(wěn)定，降低泵的計量精度。為了解決上述問題，就可以采用三閥裝置，實(shí)際就是液壓腔配套的包括補(bǔ)償、放氣、安全保護(hù)等三種功能的裝置或裝置的組合體。根據(jù)其作用原理的不同，又分為自動補(bǔ)償和強(qiáng)制補(bǔ)償兩種三閥裝置。
自動補(bǔ)償?shù)娜y裝置在隔膜計量中的應(yīng)用廣泛，在有吸上高度要求的情況下，就只可采用這種補(bǔ)償裝置。它是由三個單獨(dú)的閥，即安全閥、放氣閥和補(bǔ)油閥組成的。
安全閥的作用是為了保證液壓腔內(nèi)的壓力不出現(xiàn)異常以保護(hù)隔膜，當(dāng)液壓腔內(nèi)油量因補(bǔ)油過多，隔膜到達(dá)前限制板而柱塞尚未到達(dá)排出行程終點(diǎn)時，因柱塞仍將向前運(yùn)動，液壓腔內(nèi)的壓力就將急劇上升，此時安全閥應(yīng)迅速打開。同時，安全閥在排出管路壓力異常升高時，也可起到保護(hù)泵系統(tǒng)的作用。安全閥的開啟壓力應(yīng)該能夠很容易地進(jìn)行足夠精細(xì)和準(zhǔn)確的調(diào)節(jié)。
由于柱塞密封不會完全避免氣體的進(jìn)入，其他情形如加油時氣體也可能進(jìn)入液壓腔內(nèi)，形成氣囊后將極大影響計量的精度，因此需要設(shè)置放氣閥。放氣閥應(yīng)設(shè)置在液壓腔的頂處，有利于氣體的排出。
泵在長時間運(yùn)轉(zhuǎn)過程中，隨著柱塞密封處的工作介質(zhì)泄漏量的增加，液壓腔內(nèi)的油量將逐漸減少。在吸入行程、隔膜已達(dá)到后限制板，而柱塞尚未達(dá)到后死點(diǎn)時，在液動室內(nèi)就將形成瞬時真空，從而使流量下降，因此需要設(shè)置補(bǔ)償閥，當(dāng)出現(xiàn)瞬時真空時自動補(bǔ)償液壓腔內(nèi)損失的油量。
強(qiáng)制補(bǔ)償?shù)娜y裝置不論是否需要補(bǔ)油，每當(dāng)柱塞到達(dá)后死點(diǎn)時，該裝置都使補(bǔ)油室和液壓腔連通，此時補(bǔ)油與否由兩者的壓差決定。強(qiáng)制補(bǔ)償三閥也設(shè)置在液壓腔的最高處，在補(bǔ)油的同時兼有放氣的功能。