無油真空泵又稱作無油干式真空泵，屬于干式真空泵。
無油真空泵由定子、轉(zhuǎn)子、旋片、缸體、電機(jī)等主要零件組成。帶有旋片的轉(zhuǎn)子，偏心地安裝在定缸內(nèi)，當(dāng)轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，轉(zhuǎn)子槽內(nèi)四個(gè)徑向滑動(dòng)旋片將泵腔分隔成四個(gè)工作室，在離心力的作用下，旋片緊貼在缸壁，把定子進(jìn)排出口分離開來，周而復(fù)始運(yùn)轉(zhuǎn)，進(jìn)行變?nèi)荩瑢⑽霘怏w，從排氣口排出，以達(dá)到抽氣的目的
無油真空泵的應(yīng)用領(lǐng)域介紹：
1.低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中。
2.半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒。
3.除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不讓微?；烊氡糜椭?，而是要微粒排出泵外，選用一定型式的干式機(jī)械真空泵即可滿足要求。
4.應(yīng)用在在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機(jī)溶劑造成的污染，最好選用干式真空泵。
5.用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵，進(jìn)而防止油污染。