真空泵的體積很小，所以稱為微型真空泵，是指具備一進(jìn)一出的抽氣嘴、排氣嘴各一個(gè)，并且在進(jìn)口處能夠持續(xù)形成真空或負(fù)壓；排氣嘴處形成微正壓；工作介質(zhì)主要為氣體，體積小巧的一種儀器。
微型真空泵的原理：
微型真空泵的基本原理：電機(jī)的圓周運(yùn)動(dòng)，通過機(jī)械裝置使泵內(nèi)部的隔膜做往復(fù)式運(yùn)動(dòng)，從而對固定容積的泵腔內(nèi)的空氣進(jìn)行壓縮、拉伸形成真空（負(fù)壓），在泵抽氣口處與外界大氣壓產(chǎn)生壓力差，在壓力差的作用下，將氣體壓（吸）入泵腔，再從排氣口排出。
正因?yàn)槌闅饪谔幓蛘叱榕艢饪诳梢耘c外界大氣形成壓力差，同時(shí)不像大型真空泵需要潤滑油和真空泵油，不會污染工作介質(zhì)，而且具有體積小巧、噪音低、免維護(hù)，可以連續(xù)24小時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn)等優(yōu)點(diǎn)，所以微型真空泵被作為動(dòng)力裝置，廣泛用于氣體采樣、氣體循環(huán)、真空吸附、加速過濾、汽車真空助力等等場合，在醫(yī)療、衛(wèi)生、科研、環(huán)保等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。