真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，(或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵)對(duì)氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。
真空泵高溫原因：風(fēng)扇轉(zhuǎn)速低，風(fēng)壓，風(fēng)量小。電機(jī)功率大，工作電流大，發(fā)熱量大。風(fēng)扇葉片數(shù)較少，產(chǎn)生的風(fēng)量小。真空泵電機(jī)所在母線電壓380V，由于電纜壓降及負(fù)荷分配不均，電機(jī)實(shí)際所加電壓只有365V，電壓偏低造成運(yùn)行電流大。電動(dòng)機(jī)附有灰塵、油污，降低了散熱能力。
解決方法：電機(jī)功率、轉(zhuǎn)速是和真空泵相匹配的，不能更改。風(fēng)扇安裝于電機(jī)主軸上，電機(jī)轉(zhuǎn)速?zèng)Q定了風(fēng)扇轉(zhuǎn)速，也不可更換。增加風(fēng)扇葉片數(shù)量雖能起到一定作用，但葉片數(shù)量增加后，動(dòng)平衡不容易找，如找正不好，會(huì)引起電機(jī)振動(dòng)增加。將原風(fēng)扇罩加長(zhǎng)40cm，在里面加裝一個(gè)與風(fēng)扇罩同直徑軸流風(fēng)機(jī)，軸流風(fēng)機(jī)電機(jī)功率850W，轉(zhuǎn)速1489r/min，電壓380V。原風(fēng)扇繼續(xù)保留。軸流風(fēng)機(jī)服裝學(xué)校另設(shè)一路電源控制，軸流風(fēng)機(jī)與主電機(jī)不設(shè)連鎖。真空泵啟動(dòng)后及時(shí)啟動(dòng)軸流風(fēng)機(jī)運(yùn)行，真空泵停運(yùn)后30min停運(yùn)軸流風(fēng)機(jī)，以使主電機(jī)得到充分冷卻;定期清除電機(jī)上灰塵，保持電機(jī)散熱片清潔，增加其散熱能力;將真空泵所在母線電壓調(diào)整為400V。
為了停泵時(shí)防止真空泵油返到被抽容器，內(nèi)置停泵防返油裝置就十分重要。防止停泵返油通常靠氣路和油路的結(jié)合來實(shí)現(xiàn)，常用的方法有：
在進(jìn)氣通道上設(shè)置停泵防返油裝置。
在油路上設(shè)有停泵控制防返油裝置。
真空泵防返油閥原理：可靠的進(jìn)氣口防返油裝置，雙重保護(hù)，不返油，保證了真空系統(tǒng)安全。
保護(hù)一：停泵時(shí)隔離閥關(guān)閉真空系統(tǒng);
保護(hù)二：停泵時(shí)關(guān)閉油路并向泵腔充氣。
真空泵運(yùn)行期間，控制活塞在油壓作用下頂著彈簧保持密封。防倒吸閥的閥盤由于自重保持在較低位置(閥門開啟)。泵停機(jī)后，油壓下降，彈簧將控制活塞向上頂。這樣就在油箱與防倒吸閥的活塞之間形成了一個(gè)通路。以上為真空泵防返油閥原理的介紹，對(duì)比用彈簧來控制防返閥的真空泵，萊寶真空泵防返油效果更好，故障率較低，維修更加簡(jiǎn)單。