羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn)，被抽氣體從進氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi)，再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài)，所以，在泵腔內(nèi)氣體沒有壓縮和膨脹。但當轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過排氣口邊緣，v0空間與排氣側(cè)相通時，由于排氣側(cè)氣體壓強較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去，使氣體壓強突然增高。當轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動時，氣體排出泵外。
羅茨真空泵性能特點：
在較寬的壓強范圍內(nèi)有較大的抽速；
起動快，能立即工作；
對被抽氣體中含有的灰塵和水蒸氣不敏感；
轉(zhuǎn)子不必潤滑，泵腔內(nèi)無油；
振動小，轉(zhuǎn)子動平衡條件較好，沒有排氣閥；
驅(qū)動功率小，機械摩擦損失?。?br> 結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積??；
運轉(zhuǎn)維護費用低。
因此，羅茨泵在冶金、石油化工、造紙、食品、電子工業(yè)部門得到廣泛的應用。